洁净室压差控制方法:
为了保证洁净室内洁净度的要求,平时必须维持一定的正压值,对不同等级的洁净室或洁净区,与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa,洁净区与室外静压差不应小于10Pa.维持洁净室正压的方法有:
(1)安装余压阀:即在洁净室的下风向侧的墙七安装,预先调整余压阀维持室内正压值的开启度,通过余压阀开启关闭调整维持正压值,采用余压阀时应注意长期使用会关闭不严。
(2)送风量大于回风量的方法维持室内正压。
(3)通过安装在回风口或支风管道上的对开式多叶调节阀来维持室内止值。这种方法简单方便,净化工程设计,但精度不如余压阀高。
(4)在回风口处安装空气阻尼层,阻尼层材料有尼龙纱、尼龙筛网(孔眼>100目)、在碱液中浸泡过的中细孔泡沫塑料、无纺布等、即通过回风阻尼层阻力逐渐增加而使室内正压增加。该种方法只适用于走廊或套间回风方式。
(5)要求洁净室(区)外围护结构密封性能良好。
光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案:
光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,合肥净化工程,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如**大型积体电路之研究制造,已成为**在科技发展上较为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于先导地位。
洁净车间换气次数不合理 洁净车间不论是乱流时的稀释作用, 还是单相流时的置换作用,净化工程施工, 都需靠洁净空气的量来控制和实现洁净车间的各种参数,净化工程方案, 因此洁净车间的换气次数不能过低。如果洁净车间的换气次数太大, 则会增加运行成本, 也并不一定能相应的提高洁净车间的级别。洁净车间的换气次数取决于室内热平衡计算, 常规要求1万级的换气次数为每小时25次以上, 10万级为每小时15次以上。洁净车间的送风量应取下列三种的蕞大值:为保证空气洁净度等级的送风量;根据热、湿负荷计算确定的送风量;向洁净车间内的供给的新鲜空气量。其中新鲜空气量应取下列两项的蕞大值:补偿内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和;保持供给洁净车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。